高真空泵組是精密設(shè)備，故障需快速、準(zhǔn)確處理以保障生產(chǎn)安全。常見故障及處理方法如下：

一、故障分類與處理

1.機(jī)械故障

-現(xiàn)象：異響、振動異常、軸承過熱。

-處理：立即停機(jī)檢查，排查軸承磨損、轉(zhuǎn)子偏心或葉片損壞，更換損壞部件并重新校準(zhǔn)動平衡。

2.真空度不足

-現(xiàn)象：抽速下降、極限壓力升高。

-處理：

-檢漏：使用氦質(zhì)譜儀分段排查腔體、閥門及密封件（如O型圈、法蘭），更換老化密封。

-油污染：檢查擴(kuò)散泵油或機(jī)械泵油是否劣化，更換油品并清洗油路。

-泵內(nèi)污染：清理羅茨泵轉(zhuǎn)子積碳或分子篩吸附雜質(zhì)。

3.電氣與控制系統(tǒng)故障

-現(xiàn)象：電機(jī)過載跳閘、PLC報(bào)警。

-處理：

-檢測電源電壓、電機(jī)絕緣電阻及過載保護(hù)器。

-檢查傳感器（如壓力計(jì)、溫度探頭）信號是否異常，校準(zhǔn)或更換故障元件。

4.操作與維護(hù)失誤

-現(xiàn)象：誤操作閥門順序、未定期保養(yǎng)。

-處理：強(qiáng)化操作培訓(xùn)，嚴(yán)格執(zhí)行保養(yǎng)計(jì)劃（如定期換油、清潔捕集器）。

二、安全與預(yù)防

-安全規(guī)范：故障處理前必須泄真空、斷電并佩戴防護(hù)裝備，避免高溫或化學(xué)接觸。

-預(yù)防措施：

-建立巡檢制度（每日記錄振動、噪音、油位）。

-使用真空計(jì)實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)壓力曲線，發(fā)現(xiàn)異常及時(shí)預(yù)警。

-定期更換耗材（油、過濾器、密封件）。

總結(jié)：故障處理需結(jié)合系統(tǒng)診斷與經(jīng)驗(yàn)判斷，遵循“排查→隔離→修復(fù)→驗(yàn)證”流程，同時(shí)強(qiáng)化預(yù)防性維護(hù)，確保設(shè)備長期穩(wěn)定運(yùn)行。