分子泵作為高真空系統(tǒng)的部件，其潔凈度直接影響真空度、抽速及使用壽命。污染沉積（如油污、顆粒、化學(xué)殘留）會(huì)顯著降低泵性能，甚至導(dǎo)致軸承卡死或葉片損壞。定期、規(guī)范的清潔保養(yǎng)是維持其佳性能與可靠運(yùn)行的關(guān)鍵。

清潔操作流程(務(wù)必在泵完全冷卻、斷電并恢復(fù)常壓后進(jìn)行)：

1.安全拆卸：佩戴潔凈手套，使用工具小心拆卸泵入口法蘭、出口管道及排氣閥組件（若適用）。注意保護(hù)各密封面。

2.初步除塵：使用干燥、無油、低壓力的潔凈壓縮空氣或氮?dú)?，從入口向出口方向吹掃泵腔?nèi)部及葉片表面，去除松散顆粒。

3.溶劑清洗()：

*選擇溶劑：推薦使用高純度異(IPA)或。嚴(yán)禁使用含氯溶劑（如、）或強(qiáng)腐蝕性溶劑。

*操作：用無塵布或無紡布蘸取適量溶劑，輕柔擦拭泵腔內(nèi)部、轉(zhuǎn)子、定子葉片等所有可見表面。頑固油污可稍作浸潤后擦拭。避免溶劑浸泡軸承區(qū)域。

*關(guān)鍵部位：重點(diǎn)清潔各級轉(zhuǎn)子葉片頂部、側(cè)面及定子流道表面。

4.沖洗與干燥：

*用新鮮溶劑沖洗擦拭過的表面，溶解并帶走殘留污物和溶解物。

*立即用大量潔凈干燥的壓縮空氣或氮?dú)獯蹈杀脙?nèi)所有部件，確保無任何溶劑或水分殘留。可置于潔凈環(huán)境中自然干燥數(shù)小時(shí)。

5.部件清潔：單獨(dú)清潔拆卸下的法蘭、密封圈（檢查老化/變形，必要時(shí)更換）、過濾器等。密封圈清洗后需涂抹適量真空脂（如適用）。

6.檢查與組裝：

*仔細(xì)檢查泵腔內(nèi)、葉片有無損傷、變形或嚴(yán)重腐蝕。檢查軸承是否順暢（手動(dòng)輕轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子）。

*確保所有部件完全干燥、潔凈。按正確順序和方向（尤其密封圈）小心回裝，使用新密封圈（若舊圈狀態(tài)不佳），按規(guī)定力矩?cái)Q緊法蘭螺栓。

建議：對于嚴(yán)重污染或性能顯著下降的泵，或涉及特殊污染物（如聚合物、鹽類），強(qiáng)烈建議將泵返廠或交由維修中心進(jìn)行深度清潔與維護(hù)，以確保佳效果和泵的安全運(yùn)行。

遵循以上規(guī)程進(jìn)行定期、規(guī)范的清潔保養(yǎng)，能有效清除分子泵內(nèi)部污染物，地恢復(fù)并維持其抽氣性能，顯著延長使用壽命，保障高真空系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行。