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網(wǎng)友們請賜教！維修Edwards真空分子泵維修要注意什么？
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  • 當Edwards真空分子泵維修出現(xiàn)故障無法使用時，應暫停生產(chǎn)，并在手動充滿空氣后更換備用分子泵。
  • 當出現(xiàn)警告信息“ EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵維修之前，請確保水路暢通。 當出現(xiàn)其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
  • 檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題，Edwards真空分子泵維修出口是否打開，機械泵油是否太臟，機械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮。電路板上的保險絲被燒毀了。更換保險絲或檢查是否有短路。
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