開動(dòng)電機(jī)，當(dāng)shimadzu真空泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)后，打開出口壓力表和進(jìn)口真空泵，視其顯示出適當(dāng)壓力后，逐漸打開閘閥，同時(shí)檢查電機(jī)負(fù)荷的真空泵維修保養(yǎng)情況。 全文

集成分子泵維修時(shí)的注意事項(xiàng)主要包括以下幾點(diǎn)：1.安全措施要到位。在進(jìn)行任何維修保養(yǎng)操作前，務(wù)必切斷分子泵的電源并等待其冷卻至室溫；在拆卸或檢查部件時(shí)避免直接接觸高溫、高壓區(qū)域及尖銳物體等潛在危險(xiǎn)源以防.. 全文

varian渦輪分子泵操作完成后，應(yīng)先關(guān)閉高真空閥，然后再關(guān)閉低真空閥。然后停止旋轉(zhuǎn)葉片真空泵，然后放氣（例如，使用電磁真空皮帶放氣閥自動(dòng)放氣），以避免機(jī)油回流到真空系統(tǒng)，終切斷了主電源。停水了。 全文

當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí)，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵之前，請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。 全文