開動電機，當shimadzu真空泵正常運轉后，打開出口壓力表和進口真空泵，視其顯示出適當壓力后，逐漸打開閘閥，同時檢查電機負荷的真空泵維修保養(yǎng)情況。 全文

集成分子泵維修時的注意事項主要包括以下幾點：1.安全措施要到位。在進行任何維修保養(yǎng)操作前，務必切斷分子泵的電源并等待其冷卻至室溫；在拆卸或檢查部件時避免直接接觸高溫、高壓區(qū)域及尖銳物體等潛在危險源以防.. 全文

varian渦輪分子泵操作完成后，應先關閉高真空閥，然后再關閉低真空閥。然后停止旋轉葉片真空泵，然后放氣（例如，使用電磁真空皮帶放氣閥自動放氣），以避免機油回流到真空系統(tǒng)，終切斷了主電源。停水了。 全文

當出現(xiàn)警告信息“ EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵之前，請確保水路暢通。 當出現(xiàn)其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。 全文