真空度很好的情況下，Edwards真空分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道？ 原因：油池裂開或密封不良 解決方法：檢查油池 全文

Leybold分子泵內(nèi)置自動(dòng)防返油閥?？梢耘c各種附件配套使用，因而可以滿足各種不同應(yīng)用的需要。 全文

封式旋片泵（即油泵）極限真空能到達(dá)10-3mbar，但油泵容易產(chǎn)生返油倒吸的問題，如果沒有控制返流的安全閥，或者不合理的放氣程序都會(huì)引起油蒸汽的返流，不合要求的安全閥也會(huì)引起油污染，從而導(dǎo)致分子泵提供.. 全文

當(dāng)Edwards真空分子泵維修未啟動(dòng)時(shí)，檢查前級(jí)泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時(shí)，必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。 全文