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  • 當愛德華分子泵控制器M2（方框2）或M7的真空度始終沒有到位時，請檢查旋片泵的電磁閥是否正常工作。
  • 打開愛德華分子泵控制器之前，必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后，必須關閉冷卻水閥。
  • 當出現(xiàn)警告信息“ EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機q進行檢查。 在再次打開愛德華分子泵控制器之前，請確保水路暢通。 當出現(xiàn)其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。
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