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渦輪分子泵的工作原理是什么?
http://m.heqixuan.cn/ask/6521316.html
  • 廣泛應(yīng)用于鍍膜、電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、真空爐、化工、離子刻蝕、光盤制造、制燈、航空航天、核能源等相關(guān)行業(yè)和教學(xué)、科研單位。
  • 渦輪分子泵是一種高真空獲得設(shè)備(真空度可高達(dá)10-8Pa),具有真空度高、抽速大、無(wú)油潔凈等優(yōu)點(diǎn)。
  • 渦輪分子泵的工作原理基于分子流動(dòng)。轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時(shí),氣體分子被轉(zhuǎn)子葉片捕獲并帶到泵的排氣側(cè),通過(guò)連續(xù)的分子流動(dòng)將氣體分子從真空室中抽出。由于分子流動(dòng)的速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于常規(guī)氣體流動(dòng),渦輪分子泵可以實(shí)現(xiàn)高抽氣速度,從而快速降低真空室內(nèi)的氣體密度和壓力。
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