Edwards真空分子泵低振動(dòng)：磁懸浮意味著無摩擦，因此振動(dòng)很低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會(huì)隨零件磨損而化。 全文

渦輪分子泵在使用過程中可能會(huì)遇到多種常見故障，以下是對(duì)這些故障的歸納：極限真空度低：這可能是由于前級(jí)泵的抽氣量不足、系統(tǒng)漏氣或者是泵體出氣等原因?qū)е碌?。解決此類問題通常需要重新選配合適的前級(jí)泵、查出并.. 全文

當(dāng)愛德華分子泵控制器未啟動(dòng)時(shí)，檢查前級(jí)泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時(shí)，必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。 全文

愛德華分子泵控制器中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘?shù)任矬w，如M5的頂絲等，請(qǐng)問是否對(duì)分子泵的使用有影響？應(yīng)如何解決？ 原因：應(yīng)是偶爾發(fā)生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對(duì)分子泵沒有影響。 解決方式：應(yīng)是偶爾發(fā)生.. 全文