當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí)，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開(kāi)Edwards真空分子泵維修之前，請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。 全文

渦輪分子泵是高或超高真空系統(tǒng)中常用的抽氣設(shè)備，其故障維修方法主要包括以下幾個(gè)方面：1.氣體泄漏處理當(dāng)發(fā)現(xiàn)泵的極限真空度低時(shí)可能是由于系統(tǒng)漏氣引起的。此時(shí)應(yīng)使用檢漏儀器查找并確定具體的泄位置對(duì)法蘭連接處.. 全文

正常使用下，為什么分子泵油池會(huì)出現(xiàn)裂紋或者變形？原因：過(guò)熱，負(fù)載大。解決措施：檢查冷卻系，檢查系統(tǒng)。 全文

<div style="text-align:center;margin:5px 0;"><img src="https://upimg300.dns4.cn/pic/257062/p18/20220.. 全文