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分子泵的維護方法有哪些?
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  • 分子泵如果污染嚴重,則必須完全拆開,由*業(yè)技術人員處理。嚴禁未經培訓和真空性能下降很多,甚至長時間烘烤也不能恢復其真空性能。這時應對泵進行清洗。
  • 常規(guī)運行中,分子泵一年內運行時間少于4000小時的,一年更換一次;一年內運行時間多于4000小時的,每運行4000小時必須換油一次。
  • 軸承、減震維護?隨著分子泵使用時間延長,分子泵軸承在高速運轉中受到的磨損越來越嚴重,減震系統的減震能力越來越差,到一定程度后必須進行更換,否則可能出現更大程度的損壞。
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