愛德華分子泵控制器故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置，此時(shí)應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常，可能是分子泵電源故障。請(qǐng)聯(lián)系制造商。 全文

安捷倫分子泵設(shè)計(jì)是免日常維護(hù)的。由于工藝環(huán)境差異，分子泵的工作壽命差別很大，但是如果分子泵已經(jīng)工作了很長(zhǎng)時(shí)間（5年以上），或者出現(xiàn)了噪音、溫度、功率異常，及時(shí)的對(duì)其進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)可以大大延長(zhǎng)其使用壽命。 全文

Edwards進(jìn)口分子泵低振動(dòng)：磁懸浮意味著無摩擦，因此振動(dòng)很低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會(huì)隨零件磨損而化。 全文

當(dāng)真空泵重新裝配后應(yīng)進(jìn)行試運(yùn)行，一般須空運(yùn)轉(zhuǎn)2小時(shí)并換油二次，因清洗時(shí)在真空泵中會(huì)留有一定量易揮發(fā)物，待運(yùn)轉(zhuǎn)正常后，再投入正常工作 全文